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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：南京供應(yīng)HORIBA崛場(chǎng)在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ

    • 產(chǎn)品型號(hào)： UVISEL Plus In-Situ
    • 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場(chǎng)
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    南京供應(yīng)HORIBA崛場(chǎng)在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類(lèi)反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過(guò)程。UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過(guò)程速度比較快也可實(shí)現(xiàn)。
    詳情介紹：

    南京供應(yīng)HORIBA崛場(chǎng)在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ國(guó)內(nèi)各區(qū)域供應(yīng)

    • 高速、準(zhǔn)確
    • 完整集成了實(shí)時(shí)測(cè)量、建模和報(bào)告軟件包
    • 便于在線和離線間切換

     

    可獲得的信息

    • 薄膜厚度
    • 光學(xué)常數(shù)（n,k）
    • 材料組成
      • 光譜范圍：190-885 nm，可擴(kuò)展至 190-2100 nm
      • 光源：75W氙燈或150W氙燈
      • 探測(cè)系統(tǒng)：?jiǎn)吸c(diǎn)或?qū)崟r(shí)光譜采集使用高靈敏度，寬動(dòng)態(tài)范圍的PMT探測(cè)器和掃描單色儀，原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻
      • 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
      • 機(jī)械適配器：CF35或KF40法蘭

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