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MDCOM 株式會(huì)社UV清洗裝置MEUT-1-330塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機(jī)、噴涂預(yù)處理 抗殘?jiān)⒂袡C(jī)物灰化
MDCOM 株式會(huì)社UV清洗裝置MEUT-1-330塔瑪薩崎電子江蘇銷(xiāo)售
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參考規(guī)格
蘋(píng)果
XE(氙氣)準(zhǔn)分子燈*1
波長(zhǎng)
172納米 *1
安裝的燈具數(shù)量
1*2起的定制設(shè)計(jì)
有源發(fā)射長(zhǎng)度
150毫米~2500毫米
光。。。。。。。。。。。。 標(biāo)準(zhǔn)
70毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。 高照度
120毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。 內(nèi)管水冷高照度
170毫瓦/平方英寸以上 *4
照度均勻性
± 10% 以?xún)?nèi)
陣容
梅特
標(biāo)準(zhǔn)照度(70mW/cm2),水冷系統(tǒng)(電源和燈座)
梅烏塔
標(biāo)準(zhǔn)照度 (70mW/cm2),風(fēng)冷
默斯
高照度(120mW/cm2),水冷系統(tǒng)(電源和燈座)
默特
大面積體輻照裝置(帶石英窗)
梅斯-WC
內(nèi)管水冷高照度(170mW/cm2)水冷系統(tǒng)(電源和燈座,內(nèi)管電極)
*5
■ 注
*1 波長(zhǎng)選項(xiàng):222nm
*2 燈管數(shù)量、有效長(zhǎng)度、照射設(shè)備尺寸:定制*3 支持以 10mm 燈管有效長(zhǎng)度為增量進(jìn)行定制
。 對(duì)于有效長(zhǎng)度為1700mm或以上,兩個(gè)燈以交錯(cuò)排列的方式排列
*2 點(diǎn)亮后立即測(cè)量大氣管表面(通過(guò)照度計(jì)C4/H9536-9535測(cè)量)*172 內(nèi)管冷卻需要純水(每盞燈5L/min)
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!