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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
IPA、純水、化學(xué)溶液等半導(dǎo)體制造過程中微區(qū)域的流量管理
·從1ml/min開始的微流量測定
·通過數(shù)字信號處理進行微流量高精度測定
·傳感器部分與流體非接觸的結(jié)構(gòu)
· 寬范圍能力
詳情介紹:
產(chǎn)品規(guī)格
■微小液體流量計(傳感器分離型)
μLF-300S
類型表達式 | μLF-300S = μLT-8I (1/8 英寸) 或 μLF-300S = μLT-4I (1/4 英寸) |
測量原理 | 超聲波傳播時差方法 |
測量液體 |
純水、水溶液、各種化學(xué)溶液 * 對于水以外的液體,請事先確認(rèn) |
自適應(yīng)流體溫度范圍 |
在 15°C 至 80°C * 60°C 或更高溫度下使用時,請?zhí)崆按_認(rèn) |
流體壓力 | 0.5MPa 或更少 |
流體運動粘度 | 100mm^2/秒以下 |
流量范圍 |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
測量精度 |
±0.5%RD (1/8 英寸 : 200 至 1000 毫升/分鐘條件: 室溫, 恒溫水) ± 1 毫升/分鐘 (1/8 英寸 : 0 至 199 毫升/分鐘) ± 0.5% RD (1/4 英寸): 800 至 4000 毫升/分鐘 條件: 室溫, 恒溫水) ± 4 毫升/分鐘 (1/4 英寸): 0 至 4 英寸 799ml/min) |
可重復(fù)性 | ±0.2%(純、液溫±0.5°C,30秒平均值) |
電源 | DC 24V ±10% |
功耗 | 3.6W 或更少 |
重量 | 轉(zhuǎn)換器 240g,檢測單元 70g |
尺寸 WxHxD(毫米) |
轉(zhuǎn)換器 97 x 49 x 127 檢測單元 90 x 25 x 20(不包括管) |
檢測部 | |
管材 | PFA(氟樹脂) |
管徑 | 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
結(jié)構(gòu) | 相當(dāng)于IP65 |
隨附的電纜 | 5m,連接器連接 |
輸入部分 | |
數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422,4 線 RS-485 |
模擬輸出 | 4-20mA(瞬時流量),負(fù)載電阻 500Ω 或更少 |
累計脈沖輸出 | 1ch(開放式收集器) |
報警輸出 | 1ch(開放式收集器) |
觸點輸入 | 1ch ( 零流量設(shè)定或累計** ) |
按鍵輸入 | 4 輸入按鈕 |
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