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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱： 代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀 橢圓偏振光測(cè)量?jī)x 多功能橢偏儀 橢偏儀系統(tǒng)
    詳情介紹：

    塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司代理、直營(yíng)各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品，聯(lián)系人：張小姐

    聯(lián)系電話：15902189399  


    產(chǎn)品信息

    特點(diǎn)
    • 可在紫外可見(jiàn)（300~800nm）波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)
    • 納米級(jí)多層薄膜的厚度分析
    • 使用 400ch 或更多多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜
    • 通過(guò)可變反射角度測(cè)量支持薄膜的詳細(xì)分析
    • 通過(guò)數(shù)據(jù)庫(kù)化光學(xué)常數(shù)和添加配方注冊(cè)功能，提高可操作性

     

    測(cè)量項(xiàng)目
    • 橢圓參數(shù)（tan= 、cosΔ）測(cè)量
    • 光學(xué)常數(shù) （ n ： 折射率 ， k ： 消光系數(shù) ） 分析
    • 厚度分析

     

    測(cè)量對(duì)象
    • 半導(dǎo)體晶圓
      柵極氧化薄膜、氮化膜
      SiO      2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
      電阻的光學(xué)常數(shù)（波長(zhǎng)色散）
    • 化合物半導(dǎo)體
      鋁      xGa(1-x)As 多層膜，非晶硅
    • FPD
      對(duì)準(zhǔn)膜
    • 各種新材料
      DLC（Diamond Like Carbon）、超導(dǎo)薄膜、磁頭薄膜
    • 光學(xué)薄膜
      TiO      2，SiO2，防反射膜
    • 光刻領(lǐng)域
      g 線 （436nm）、h 線 （405nm） 、i 線 （365nm） 等各波長(zhǎng)的 n，k 評(píng)價(jià)

    里·哈拉

    將包含 s 波和 p 波的線性偏振光入射到樣品中，以測(cè)量反射光的橢圓偏振光。 s 波和 p 波的相位和振幅獨(dú)立變化，以獲得 p 波和 s 波反射率的比值和相位差 Δ，這是兩種偏振光的轉(zhuǎn)換參數(shù)，具體取決于樣品。

    光譜橢圓計(jì)原理
     

    tan_ 和 cons_稱為橢圓參數(shù)，光譜橢圓測(cè)量測(cè)量這兩個(gè)參數(shù)的波長(zhǎng)相關(guān)光譜。

    手勢(shì)
    類型表達(dá)式 FE-5000S FE-5000
    樣本大小 高達(dá) 100x100mm *大 200x200mm
    測(cè)量方法 旋轉(zhuǎn)分析儀*1
    測(cè)量膜厚范圍（nd） 0.1nm～1μm
    入射（反射）角度范圍 45～90° 45～90°
    入射（反射）角度驅(qū)動(dòng)方式 自動(dòng)正弦桿驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
    入射點(diǎn)直徑*2 φ2.0 φ1.2sup*3
    tanψ測(cè)量精度 ±0.01 或更少
    cosΔ 測(cè)量精度 ±0.01 或更少
    薄膜厚度的重復(fù)再現(xiàn)性 0.01% 或更少*4
    波長(zhǎng)范圍*5 300～800nm 300～800nm
    測(cè)量光源 高穩(wěn)定性 Xenon 燈*6
    舞臺(tái)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 手動(dòng) 手動(dòng)/自動(dòng)
    加載器支持 不可以 是
    尺寸、重量 650（W)×400（D)×593（H）mm
    50kg     		1300（W)×890（D)×1750（H）mm
    350kg    *7

    *1 偏振器可驅(qū)動(dòng)，緩速板可拆卸，對(duì)不敏感帶有效。
    *2 因短軸和角度而異。
    *3 微點(diǎn)對(duì)應(yīng)（可選）
    *4 使用 VLSI 標(biāo)準(zhǔn) SiO2 膜 （100nm） 時(shí)的值。
    *5 選擇自動(dòng)階段時(shí)的值。

     江蘇地區(qū)代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀


     上海地區(qū)代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀 

    浙江地區(qū)代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀


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