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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚測量儀器

    • 產(chǎn)品型號：MCPD 系列在線薄膜評估系統(tǒng)
    • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    我們的 MCPD 系列內(nèi)聯(lián)薄膜評估系統(tǒng)采用光學(xué)類型，可在非接觸式和無損條件下檢測薄膜厚度、濃度和顏色。 可測量薄膜厚度范圍為 65nm 至 92μm，從薄膜到厚膜。 （折射率為1.5時） 測量原理為分光干涉方式，在實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性的同時，還支持多層厚度測量。 由于采用專有算法可實現(xiàn)高速實時監(jiān)控，因此我們提出了*適合在線膠片監(jiān)視器的系統(tǒng)。
    詳情介紹：
    特點
    • 非常適合工藝過程中的薄膜高速測量
    • *短曝光時間1ms~ ※根據(jù)規(guī)格
    • 支持遠程測量
    • 膜厚測定范圍65nm~92μm（SiO2轉(zhuǎn)換）
    基本配置

    MCPD 嵌入式基本配置

    多點測量點切換支持系統(tǒng)

    在多點測量點切換兼容系統(tǒng)中，通過在TD方向上預(yù)先將多分支光纖安裝在任意寬度上，可以在不驅(qū)動光纖的情況下測量TD方向的薄膜厚度分布。 可用作涂層條件和實時監(jiān)視器。

    探測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是一種類型，可通過光纖光路切換進行多點測量。

    多點測量系統(tǒng)

    遍歷單元對應(yīng)系統(tǒng)

    在支持遍歷單元的系統(tǒng)中，通過在 TD 方向上驅(qū)動遍歷單元，可以測量 TD 方向上的薄膜厚度分布，范圍和間距均相同。 可用作涂層條件和實時監(jiān)視器。

    無需多個探測器或數(shù)據(jù)處理，即可通過驅(qū)動遍歷單元進行多點測量。

    遍歷測量系統(tǒng)

    即使在真空環(huán)境中也能進行多點反射和透射光譜測量

    通過使用適用于各種法蘭的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射和透射光譜。 此外，薄膜厚度計算不受基膜上下運動的影響，并且通過采用大分電子專有的算法，可以**測量薄膜，可用作實時監(jiān)視器。

    真空


    規(guī)格

    MCPD-9800 規(guī)格
    類型表達式 MCPD-9800
    2285C 3095C 3683C 311C 916C
    測量波長范圍（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1100 900～1600
    薄膜厚度范圍* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm 180nm～92μm
    薄膜厚度/反射/透射/延遲 〇
    顏色測量 〇 ×
    掃描時間 5ms～20s 1ms～10s
    點直徑 φ1.2mm
    纖維長度 1m~ 長度需要咨詢

    ※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格

     

    MCPD-6800 規(guī)格
    類型表達式 MCPD-6800
    2285C 3095C 3683C 3610C
    測量波長范圍（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1000
    薄膜厚度范圍* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm
    薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測量 〇
    掃描時間 16ms～65s
    點直徑 φ1.2mm
    纖維長度 1m~ 長度需要咨詢

    ※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格

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