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產品詳情
  • 產品名稱:塔瑪薩崎SONIC索尼克液流計

  • 產品型號:超聲波微液體流量計
  • 產品廠商:SONIC索尼克
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簡單介紹:
IPA、純水、化學溶液等半導體制造過程中微區(qū)域的流量管理 ·從1ml/min開始的微流量測定 ·通過數(shù)字信號處理進行微流量高精度測定 ·傳感器部分與流體非接觸的結構 · 寬范圍能力
詳情介紹:
產品規(guī)格
■微小液體流量計(傳感器分離型)

μLF-300S

類型表達式 μLF-300S = μLT-8I (1/8 英寸) 或 μLF-300S = μLT-4I (1/4 英寸)
測量原理 超聲波傳播時差方法
測量液體 純水、水溶液、各種化學溶液
* 對于水以外的液體,請事先確認
自適應流體溫度范圍 在 15°C 至 80°C
* 60°C 或更高溫度下使用時,請?zhí)崆按_認
流體壓力 0.5MPa 或更少
流體運動粘度 100mm^2/秒以下
流量范圍 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
測量精度 ±0.5%RD (1/8 英寸 : 200 至 1000 毫升/分鐘條件: 室溫, 恒溫水)
± 1 毫升/分鐘 (1/8 英寸 : 0 至 199 毫升/分鐘)
± 0.5% RD (1/4 英寸): 800 至 4000 毫升/分鐘 條件: 室溫, 恒溫水)
± 4 毫升/分鐘 (1/4 英寸): 0 至 4 英寸 799ml/min)
可重復性 ±0.2%(純、液溫±0.5°C,30秒平均值)
電源 DC 24V ±10%
功耗 3.6W 或更少
重量 轉換器 240g,檢測單元 70g
尺寸 WxHxD(毫米) 轉換器 97 x 49 x 127
檢測單元 90 x 25 x 20(不包括管)
檢測部
管材 PFA(氟樹脂)
管徑 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm
結構 相當于IP65
隨附的電纜 5m,連接器連接
輸入部分
數(shù)字輸出 4 線 RS-422,4 線 RS-485
模擬輸出 4-20mA(瞬時流量),負載電阻 500Ω 或更少
累計脈沖輸出 1ch(開放式收集器)
報警輸出 1ch(開放式收集器)
觸點輸入 1ch ( 零流量設定或累計** )
按鍵輸入 4 輸入按鈕
■微少液體流量計(一體型)

μLF-300

変換器
型式 μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch)
測定原理 超音波伝播時間差方式
被測定液體 純水、水溶液、各種薬液
* 水以外の液體の場合は事前にご確認ください
適応流體溫度範囲 10℃~60℃
* 60℃以上の場合は事前にご確認ください
環(huán)境溫度範囲      溫度:0℃~50℃(結露がないこと)
流量範囲 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-308I)
0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-304I)
測定精度 ±1%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min, 室溫, 水の場合)
±2ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min)
±1%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min, 室溫, 水の場合)
±8ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min)
繰返し性 ±0.2% (液溫±0.5℃, 30秒平均値)
応答性 10 msec 
構造 屋內仕様 (IP65相當) 
電源 DC 5V ±10% 
消費電力 1.5W以下 
重量 350g (本體部のみ)
檢測部
管材 PFA(氟樹脂)
管徑

1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm

1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm 

輸出部分
串行端口 4 線 RS-422
通信協(xié)議 數(shù)據(jù)位 8 位固定,偶數(shù)奇偶校驗固定,停止位 1 位固定
波特率 38400 baud
串行輸出內容 瞬時流量值、累計流量值、錯誤代碼
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