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產品詳情
簡單介紹:
IPA、純水、化學溶液等半導體制造過程中微區(qū)域的流量管理
·從1ml/min開始的微流量測定
·通過數(shù)字信號處理進行微流量高精度測定
·傳感器部分與流體非接觸的結構
· 寬范圍能力
詳情介紹:
產品規(guī)格
■微小液體流量計(傳感器分離型)
μLF-300S
類型表達式 | μLF-300S = μLT-8I (1/8 英寸) 或 μLF-300S = μLT-4I (1/4 英寸) |
測量原理 | 超聲波傳播時差方法 |
測量液體 |
純水、水溶液、各種化學溶液 * 對于水以外的液體,請事先確認 |
自適應流體溫度范圍 |
在 15°C 至 80°C * 60°C 或更高溫度下使用時,請?zhí)崆按_認 |
流體壓力 | 0.5MPa 或更少 |
流體運動粘度 | 100mm^2/秒以下 |
流量范圍 |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
測量精度 |
±0.5%RD (1/8 英寸 : 200 至 1000 毫升/分鐘條件: 室溫, 恒溫水) ± 1 毫升/分鐘 (1/8 英寸 : 0 至 199 毫升/分鐘) ± 0.5% RD (1/4 英寸): 800 至 4000 毫升/分鐘 條件: 室溫, 恒溫水) ± 4 毫升/分鐘 (1/4 英寸): 0 至 4 英寸 799ml/min) |
可重復性 | ±0.2%(純、液溫±0.5°C,30秒平均值) |
電源 | DC 24V ±10% |
功耗 | 3.6W 或更少 |
重量 | 轉換器 240g,檢測單元 70g |
尺寸 WxHxD(毫米) |
轉換器 97 x 49 x 127 檢測單元 90 x 25 x 20(不包括管) |
檢測部 | |
管材 | PFA(氟樹脂) |
管徑 | 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
結構 | 相當于IP65 |
隨附的電纜 | 5m,連接器連接 |
輸入部分 | |
數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422,4 線 RS-485 |
模擬輸出 | 4-20mA(瞬時流量),負載電阻 500Ω 或更少 |
累計脈沖輸出 | 1ch(開放式收集器) |
報警輸出 | 1ch(開放式收集器) |
觸點輸入 | 1ch ( 零流量設定或累計** ) |
按鍵輸入 | 4 輸入按鈕 |
■微少液體流量計(一體型)
μLF-300
変換器 | |
型式 | μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch) |
測定原理 | 超音波伝播時間差方式 |
被測定液體 |
純水、水溶液、各種薬液 * 水以外の液體の場合は事前にご確認ください |
適応流體溫度範囲 |
10℃~60℃ * 60℃以上の場合は事前にご確認ください |
環(huán)境溫度範囲 | 溫度:0℃~50℃(結露がないこと) |
流量範囲 |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-308I) 0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-304I) |
測定精度 |
±1%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min, 室溫, 水の場合) ±2ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min) ±1%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min, 室溫, 水の場合) ±8ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min) |
繰返し性 | ±0.2% (液溫±0.5℃, 30秒平均値) |
応答性 | 10 msec |
構造 | 屋內仕様 (IP65相當) |
電源 | DC 5V ±10% |
消費電力 | 1.5W以下 |
重量 | 350g (本體部のみ) |
檢測部 | |
管材 | PFA(氟樹脂) |
管徑 |
1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
輸出部分 | |
串行端口 | 4 線 RS-422 |
通信協(xié)議 | 數(shù)據(jù)位 8 位固定,偶數(shù)奇偶校驗固定,停止位 1 位固定 |
波特率 | 38400 baud |
串行輸出內容 | 瞬時流量值、累計流量值、錯誤代碼 |
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