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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：SAMCO 平行平板型RIE裝置 RIE-10NR

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：SAMCO薩姆肯
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    RIE-10NR 是一種平行平板反應(yīng)離子蝕刻 （RIE）設(shè)備，用于各向異性加工各種硅薄膜，如 Si、Poly-Si、SiO_和 SiN。
    詳情介紹：

    概述

    RIE-10NR 是一種平行平板反應(yīng)離子蝕刻 （RIE）設(shè)備，用于各向異性加工各種硅薄膜，如 Si、Poly-Si、SiO_和 SiN。 該設(shè)備是一種經(jīng)濟(jì)高效的 RIE 設(shè)備，可通過(guò) PLC 控制存儲(chǔ)自動(dòng)操作和過(guò)程參數(shù)。

    特點(diǎn)

    ? 可加工 8 英寸晶圓

    雖然這是一個(gè)緊湊的設(shè)計(jì)節(jié)省空間的設(shè)備，它允許加工高達(dá)±8英寸的晶圓。

    自動(dòng)駕駛

    通過(guò)觸摸屏操作實(shí)現(xiàn)自動(dòng)操作 ， 可通過(guò)PLC控制進(jìn)行過(guò)程管理和數(shù)據(jù)記錄 。

    豐富的交付記錄

    自發(fā)布以來(lái)，該設(shè)備在改進(jìn)的同時(shí)不斷發(fā)展，擁有 300 多臺(tái)記錄。

    應(yīng)用示例

    ? 各種硅薄膜的高精度蝕刻，如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN

    半導(dǎo)體激光器的制造

    缺陷分析

    產(chǎn)品留言
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