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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：兼容裝載口的膜厚測量系統(tǒng)GS-300

  • 產(chǎn)品型號： GS-300
  • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
它是一種具有圖案匹配功能且XY定位精度為2um或更小的系統(tǒng)。
詳情介紹：
特殊長度
  • 支持集成到Φ300mmEFEM單元的備用端口
  • 實現(xiàn)晶圓中嵌入的布線圖案的圖案對齊
  • 支持半導體工藝的高產(chǎn)量要求
  • 支持缺口對齊功能
  • 小尺寸規(guī)格

 

測量例
  • TSV嵌入式圖案晶片研磨后的硅厚度
  • 晶圓厚度Φ300mm尺寸

電影
 
  • 產(chǎn)品信息
    •  
  • 規(guī)格
    •  
  • 測量例

相關信息

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