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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ

    • 產(chǎn)品型號(hào)：SF-3Rθ
    • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    SF-3Rθ OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng) *多可以快速映射12inch晶片OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
    詳情介紹：
    SF-3Rθ

       OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)


    SF-3RΘ

    特長:
    快速提供晶片內(nèi)部的厚度信息。
    支持多點(diǎn)映射測量。
    *高可測量Φ300mm晶片的面內(nèi)厚度。
    用于半導(dǎo)體工藝裝置(例如晶片磨削裝置和臨時(shí)鍵合器)。
    內(nèi)置支持


    測定項(xiàng)目
    • シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
    • テンポラリーウェーハ
    スペック
    構(gòu)成図

    構(gòu)成図

    測定例

    ■貼り合わせウェーハ（Si/ボンディング/サポート基板）

    サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ

    Si膜厚分布（約775μm）
     

    マッピング結(jié)果 研削後300mmウェーハシリコン厚み
    ボンディング膜厚分布（約15μm）


    OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ


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