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日本AMAYA株式會(huì)社天谷制作所——半導(dǎo)體設(shè)備

日期：2025-07-23 18:56

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摘要：常壓CVD裝置準(zhǔn)備了滿足顧客需求的產(chǎn)品陣容。同時(shí)，定做也對(duì)應(yīng)。＜產(chǎn)品特征＞對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體制造用、太陽(yáng)能電池制造用等各種用途從少量生產(chǎn)到大量生產(chǎn) 形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種采用SiC托盤(pán)防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區(qū)域可以廣泛成膜 A200V 單片式常壓CVD裝置 AMAX800V 8英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置 ...