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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：代理AMAYA天谷制作所高生產(chǎn)率連續(xù)常壓CVD設備 AMAX800V

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
● 8英寸/小時100張高通量 ●采用SiC托盤，可應對重金屬污染， 實現(xiàn)長期穩(wěn)定工藝 ●提高維護性 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點

通過改進輸送機制實現(xiàn)高吞吐量。

AMAX 型分散
頭中的 SiH，經(jīng)過優(yōu)化，可在低溫常壓下更有效地進行熱化學反應4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應的后混合方法，
提供優(yōu)異的薄膜厚度均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。

SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發(fā)生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩(wěn)定，老化較少。

標準配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。

性能
薄膜厚度均勻性 ≦±3.0%
支持的晶圓尺寸 （5 英寸）、6 英寸和 8 英寸
氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉積溫度 350～430℃
生產(chǎn)力 ~100張/小時
主要規(guī)格

設備尺寸 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)
加熱機構 電阻加熱
卸載 機器人CtoC輸送
分散頭
（氣體噴嘴） 		AMAX 頭（標準 3 頭）
氣相沉積設備氣相沉積設備

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